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【2h】

Integration of block-copolymer with nano-imprint lithography : pushing the boundaries of emerging nano-patterning technology.

机译：嵌段共聚物与纳米压印光刻技术的整合：推动了新兴纳米图形技术的发展。

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Burckel, David Bruce; Brennecka, Geoffrey L.; Yang, Chu-Yeu Peter (Sandia National Laboratories, Livermore, CA); Yang, Elaine L. (Sandia National Laboratories, Livermore, CA); Steinhaus, Charles A. (Sandia National Laboratories, Livermore, CA);
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年度 2012
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